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特種氣體的儲存注意事項：根據儲存的氣體類型設置標牌，如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一，故又稱為氣體標準物質。特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。

特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設有安全警示牌。特種氣體種類：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。

特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的。滅菌特種氣體主要應用于（繃帶、縫線及手術器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。

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